DIN 50454-2-1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物

作者:标准资料网时间:2024-05-19 05:21:44 浏览:9351 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-DeterminationofthedislocationetchpitsdensityinmonocrystalsofIII-V-compoundsemiconductors-Part2:Indiumphosphide
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物
【标准号】:DIN50454-2-1994
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1994-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:材料试验;半导体工艺;蚀刻;半导体;单晶;试验;方向;错位置;错位腐蚀斑;蚀斑密度;刻蚀技术;不合格的材料;腐蚀检查;表面
【英文主题词】:Direction;Dislocations;Dislocationsetchpits;Etchdensity;Etchinspection;Etchtechniques;Etching;Faultymaterial;Indiumphosphide;Materialstesting;Semiconductortechnology;Semiconductors;Singlecrystal;Surfaces;Testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:H83
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语

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标准名称：	疏浚工程土石方计量标准(附条文说明）
英文名称：	Standard for Measuring of Quantities of Soils and Rocks in Dredging Works
中标分类：	工程建设 >> 交通运输工程 >> 港口与航道工程
发布部门：	中华人民共和国交通部
发布日期：	1996-11-15
实施日期：	1997-03-01
首发日期：
作废日期：
起草单位：	长江航道局
起草人：	傅理明、吕帷元、张宁轩、胡义龙
出版社：	人民交通出版社
出版日期：	1997-03-01
页数：	37页